气体管道选择-气体管道-珂锐弘扬流体

气体管路施工技术要求及验收标准?
技术要求
(1)总体设计:管道采用1/4”外径,经过ap处理的*高等级洁净不锈钢管道。所有集中在气瓶柜的管路有适当的路径进入各实验桌,气体管道设计,在使用仪器的附近接气体考克。
(2)管路设计、规划要点:
气体管路系统应具有良好的气密性,可靠性,可维护性。
1、气瓶阀出口为gb标准的外螺纹形式,为了便于管路系统与气瓶连接,故从气瓶阀出口到管道系统应设有转换接头(气瓶接头)。
2、为了方便更换气瓶,从上述气瓶接头到调节阀之间应设有耐高压的不锈钢螺旋管。
3、由于气瓶内部的气体压力为150bar左右,使用点的压力较小,气体压力有变化,而且数值差距较大,故应在气瓶出口处设置*减压阀(双表头)。
4、气路系统中应设有在紧急情况下能够快速切断供气的装置—开关阀,为了开关系统的方便和快捷,本项目中开关阀采用球阀。
5、为了保持气体的纯度及管道系统的气密性,所有管道采用进口316l不锈钢管道,内表面按规定处理。
6、管道与阀件的连接,管道与管道的连接应保证系统的气密性,气体管道公司,同时要便于维修及更换阀件。
7、管道固定件要求坚固,轻巧,*。
高纯气体管道配管
所有高纯度、高洁净的气体均需通过管路输送到设备用点(pou),为了达到工艺对气体的质量要求,在气体出口指标一定的情况下,则更需重视配管系统的材料选用和施工质量。除取决于制气或净化设备的精度外,在很大程度上受到管路系统诸多因素的影响,因此,管材的选取应恪守相关行业原则,气体管道选择,并在图纸中注明管道材质。
管路的材质则依使用的需求进行选择,若为制程用的反应气体则选择高等级的316l ep管,经电解拋光(electro-polish)处理,耐腐蚀,气体管道,表面粗糙度低,rmax(maximum peak to valleyheight)约为0.3μm以下,其值远低于经过光辉烧结(bright anneal)处理之316l ba管的0.8μm,因平整度越高越不容易形成微涡流,而将污染粒子带出。316l ba管则常使用于和芯片接触但不参与制程反应的气体,如gn2、cda。管内表面粗糙度是衡量管材质量的标准。粗糙度越低,其颗粒携带可能性大大降低。另一种未经特殊处理的ap管(annealing amp; picking),则用于不做为供气管路的双套外管。
实验室气体的危险性:
1、有部分气体具有易i燃、易i爆、*、强腐蚀等特性,其一旦泄漏,就可能会对工作人员及仪器设备造成伤害;
2、多种气体在同一个环境下使用,如果有两种会发生燃烧或爆i炸等强烈化学反应的气体同时泄漏,就可能对工作人员以及仪器设备造成伤害;
4、多数气瓶出口压力可达15mpa,即150公斤/cm2,如果发生气瓶口减压装置失灵,就有可能将一些部件激i射出去,其能量对*或设备都具有致命性的伤害。
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