高温四探针电阻率测试详情介绍
高温四探针电阻率测试详情介绍
功能概述：overview
1. 四探针双电组合测量方法测试方阻和电阻率系统与高温箱结合
2. 配置高温四探针测试探针治具
3. pc软件对数据的处理和测量控制.
4. 量程测试范围.
高温四探针电阻率测试详情介绍
应用说明：
半导体材料的电导率对温度变化测量要求，测控软件实时绘制出温度与电阻，电阻率，电导率数据的变化曲线图谱，及过程数据值的报表分析.
适用行业：applicableindustry:
用于：企业、高等院校、科研部门对导电陶瓷、硅、锗单晶（棒料、晶片）电阻率、测定硅外延层、扩散层和离子注入层的方块电阻以及测量导电玻璃（ito）和其它导电薄膜等新材料方块电阻、电阻率和电导率数据.
双电测四探针仪是运用直线四探针双位测量。设计符合单晶硅物理测试方法
标准并参考美国 a.s.t.m 标准。
型号及参数：
规格型号
ft-351a
ft-351b
ft-351c
1.方块电阻范围sheet resistance
10-5～2×105ω/□
10-6～2×105ω/□
10-4～1×107ω/□
2.电阻率范围resistivity range
10-6～2×106ω-cm
10-7～2×106ω-cm
10-5～2×108ω-cm
3.测试电流范围test current range
0.1μa.μa.0μa，100μa，1ma，10ma，100 ma
1a、100ma、10ma、1ma、100ua、10ua、1ua、0.1ua
10ma ---200pa
4.电流精度
±0.1%读数
±0.1读数
±2%
5.电阻精度
≤0.3%
≤0.3%
≤10%
pc软件界面
显示：电阻、电阻率、方阻、温度、单位换算、温度系数、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 、电导率
7.测试方式
双电测量
8.四探针仪工作电源
ac 220v±10%.50hz <30w
9.误差
≤3%（标准样片结果 ）
≤15%
温度(选购)
常温 -400℃；600℃；800℃；1000℃；1200℃；1400℃；1600℃
气氛保护（气体客户自备）
常用气体如下：氦(he)、氖(ne)、氩(ar)、氪(kr)、氙(xe)、氡(rn)，均为无色、无臭、气态的单原子分子
温度精度
冲温值 ：≤1-3℃；控温精度 ：±1°c
升温速度：
常温开始400℃--800℃需要15分钟；800℃-1200℃需要30分钟；1400℃-1600℃需要250分钟—300分钟
高温材料
采用复合陶瓷纤维材料，具有真空成型，高温不掉粉的特征
pc软件
测试pc软件一套，usb通讯接口，软件界面同步显示、分析、保存和打印数据！
电极材料
electrode materials
钨电极或钼电极
探针间距
直线型探针，探针中心间距：4mm；样品要求大于13mm直径
标配外（选购）：
电脑和打印机1套；2.标准电阻1-5个；
高温电源：
供电：400-1200℃ 电源220v，功率4kw；380v;1400℃-1600℃电源380v；功率9kw：
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功能概述：overview
1. 四探针双电组合测量方法测试方阻和电阻率系统与高温箱结合
2. 配置高温四探针测试探针治具
3. pc软件对数据的处理和测量控制.
4. 量程测试范围.
高温四探针电阻率测试详情介绍
应用说明：
半导体材料的电导率对温度变化测量要求，测控软件实时绘制出温度与电阻，电阻率，电导率数据的变化曲线图谱，及过程数据值的报表分析.
适用行业：applicableindustry:
用于：企业、高等院校、科研部门对导电陶瓷、硅、锗单晶（棒料、晶片）电阻率、测定硅外延层、扩散层和离子注入层的方块电阻以及测量导电玻璃（ito）和其它导电薄膜等新材料方块电阻、电阻率和电导率数据.
双电测四探针仪是运用直线四探针双位测量。设计符合单晶硅物理测试方法
标准并参考美国 a.s.t.m 标准。
型号及参数：
规格型号
ft-351a
ft-351b
ft-351c
1.方块电阻范围sheet resistance
10-5～2×105ω/□
10-6～2×105ω/□
10-4～1×107ω/□
2.电阻率范围resistivity range
10-6～2×106ω-cm
10-7～2×106ω-cm
10-5～2×108ω-cm
3.测试电流范围test current range
0.1μa.μa.0μa，100μa，1ma，10ma，100 ma
1a、100ma、10ma、1ma、100ua、10ua、1ua、0.1ua
10ma ---200pa
4.电流精度
±0.1%读数
±0.1读数
±2%
5.电阻精度
≤0.3%
≤0.3%
≤10%
pc软件界面
显示：电阻、电阻率、方阻、温度、单位换算、温度系数、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 、电导率
7.测试方式
双电测量
8.四探针仪工作电源
ac 220v±10%.50hz <30w
9.误差
≤3%（标准样片结果 ）
≤15%
温度(选购)
常温 -400℃；600℃；800℃；1000℃；1200℃；1400℃；1600℃
气氛保护（气体客户自备）
常用气体如下：氦(he)、氖(ne)、氩(ar)、氪(kr)、氙(xe)、氡(rn)，均为无色、无臭、气态的单原子分子
温度精度
冲温值 ：≤1-3℃；控温精度 ：±1°c
升温速度：
常温开始400℃--800℃需要15分钟；800℃-1200℃需要30分钟；1400℃-1600℃需要250分钟—300分钟
高温材料
采用复合陶瓷纤维材料，具有真空成型，高温不掉粉的特征
pc软件
测试pc软件一套，usb通讯接口，软件界面同步显示、分析、保存和打印数据！
电极材料
electrode materials
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探针间距
直线型探针，探针中心间距：4mm；样品要求大于13mm直径
标配外（选购）：
电脑和打印机1套；2.标准电阻1-5个；
高温电源：
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