NE-PE13F纳恩科技13L真空不锈等离子清洗机
一、设备简介
ne-pe13f是一款小型真空等离子处理系统，广泛应用于科研院校，企业研发单位和小批量生产打样。设备采用进口品牌高性能旋片真空泵快速产生一个小于1-2 pa的真空压强，同时根据客户工艺要求，对真空反应腔室内通入不同的混合工艺气体，采用进口高品质等离子发生器，使得通入的工艺气体产生等离子体，并确保稳定产生高密度，高能量的离子。等离子体与材料发生复杂的物理，化学反应，可以实现不同的工艺功能，比如清洗，活化，刻蚀与涂敷等。等离子态显著的特点是高均匀性辉光放电，根据不同气体发出从蓝色到深紫色的色彩可见光。
ne-pe13f 系统功能特点：
•耐用的高品质不锈钢结构和固定装置
•不锈钢托盘设计，可调节托盘间距
•8k镜面不锈钢腔体，卓越密封性
•13.56射频等离子发生器，产生高密度等高子体，确保出众的清洗效果；
•直观的触摸屏，过程参数实时监控。
•方便的定期校准设备连接验证过程中使用的要求
•支持各种工艺气体，包括氩气，氧，氢，氦和氟化气体
•通过联锁门或可移动的板
•两个标准的浮子针阀流量控制器，气体控制
二、设备参数
序号
项目
型号规格
参数
1
等离子体发生器
功率
0-300w可调
抗辐射干扰高频匹配器
自动阻抗匹配
频率
13.56 mhz
2
真空反应腔室
腔体材质
进口 316 镜面不锈钢，军工级密封
腔体容积
240(w)*280(d)*200(h)mm; 13.5l
腔体有效处理面积
205（w）×205（d）mm
绝缘陶瓷
进口高频陶瓷
3
放电电极
电极
高导电铝合金专用电极
放电形式
ccp & rie 离子反应放电模式
电极间距
可调整电极之间的距离，调整等离子体强度和密度，极大提升处理能力和效率
4
气路控制
气体流量控制器
浮子针阀流量控制器，0-1000ml
气路设计
腔体双侧均匀进气气路设计，保证清洗，刻蚀均匀性
气路数量
配置2路工艺气路，可支持氧气，氩气，氮气，氢气，四氟化碳，nh3,ccl4等
5
真空测量
真空计
日本 smc
6
抽气系统
真空泵
飞越 16m³/h，加装油雾过滤器
极限真空度
0.1pa
真空管路
不锈钢管路+气动阀门
7
控制系统
plc
松下plc模块
触摸屏
4.3寸
软件程序
自主专利设计等离子控制系统
8
场务条件
电源供应
220v
气管接口
直径8mm
气体纯度
99.99%
气体压力
0.3-0.6mpa
排气口
kf25
9
整机参数
整机功率
1000w
外形尺寸
600mm(l)×550mm(w) ×580 mm(h)
重量
80kg
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ne-pe13f是一款小型真空等离子处理系统，广泛应用于科研院校，企业研发单位和小批量生产打样。设备采用进口品牌高性能旋片真空泵快速产生一个小于1-2 pa的真空压强，同时根据客户工艺要求，对真空反应腔室内通入不同的混合工艺气体，采用进口高品质等离子发生器，使得通入的工艺气体产生等离子体，并确保稳定产生高密度，高能量的离子。等离子体与材料发生复杂的物理，化学反应，可以实现不同的工艺功能，比如清洗，活化，刻蚀与涂敷等。等离子态显著的特点是高均匀性辉光放电，根据不同气体发出从蓝色到深紫色的色彩可见光。
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•不锈钢托盘设计，可调节托盘间距
•8k镜面不锈钢腔体，卓越密封性
•13.56射频等离子发生器，产生高密度等高子体，确保出众的清洗效果；
•直观的触摸屏，过程参数实时监控。
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•支持各种工艺气体，包括氩气，氧，氢，氦和氟化气体
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序号
项目
型号规格
参数
1
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功率
0-300w可调
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频率
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2
真空反应腔室
腔体材质
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腔体容积
240(w)*280(d)*200(h)mm; 13.5l
腔体有效处理面积
205（w）×205（d）mm
绝缘陶瓷
进口高频陶瓷
3
放电电极
电极
高导电铝合金专用电极
放电形式
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电极间距
可调整电极之间的距离，调整等离子体强度和密度，极大提升处理能力和效率
4
气路控制
气体流量控制器
浮子针阀流量控制器，0-1000ml
气路设计
腔体双侧均匀进气气路设计，保证清洗，刻蚀均匀性
气路数量
配置2路工艺气路，可支持氧气，氩气，氮气，氢气，四氟化碳，nh3,ccl4等
5
真空测量
真空计
日本 smc
6
抽气系统
真空泵
飞越 16m³/h，加装油雾过滤器
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0.1pa
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7
控制系统
plc
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8
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气体纯度
99.99%
气体压力
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9
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1000w
外形尺寸
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