凯美电子材料有限公司(图)-*制备-常州*

高纯*的应用
*的使用可以增加设备运行的安全性、缩小设备体积、延长设备寿命。近几年,国家大力发展基础电力行业,给*厂家带来了很大的市场机遇。
高纯*(纯度在99.99%以上),*制备,国内需求非常旺盛,而且附加值较高。
高纯*主要用于半导体工业中作清洗气体。
*的成本只有nf3的几分之一,近年来,常州*,各公司以廉价的sf6取代以往cvd工艺中作为清洗气体的nf3的新技术正被广泛研究。
该技术在大幅降低液晶产品加工中占相当比例的cvd气体成本的同时,还显示出了*i佳的环保前景,近年来用量有明显的提高。
据权i威机构预测,2010年我国将成为仅次于美国的大集成电路市场,总需求量约为500亿美元。目前国内使用高纯*作为蚀刻气的生产线约有50条左右预计。2016年将达到700吨左右,
国内使用*作为蚀刻气的生产线有近50条,在未来的五年预计将有20条至30条新线建成。每年约消耗高纯*为600吨左右。而国内高纯*产品远远不能满足市场需求,半导体厂家所用高纯产品大部分依赖进口,这给高纯六氟化企业提供更多的发展机遇。
泄漏应急处理
sf6气体已有百年历史,它是法国两位化学家moissan和lebeau于1900年合成的人造惰性气体,1940年前后,美国军方将其用于曼哈顿计划(核军事)。
应急处理:迅速撤离泄漏污染区人员至上风处,*供应商,并进行隔离,*哪家好,严格限制出入。建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器,穿一般作业工作服。尽可能切断泄漏源。合理通风,加速扩散。如有可能,即时使用。漏气容器要妥善处理,*、检验后再用。
1、性状:无色无味气体。 2、熔点(℃):-51
3、沸点(℃):-64(升华) 4、相对密度(水=1):1.67(-100℃)
5、相对蒸气密度(空气=1):6.602 6、饱和蒸气压(kpa):2450(25℃)
7、临界温度(℃):45.6 8、临界压力(mpa):3.76
9、辛醇/水分配系数:1.68 10、溶解性:微溶于水,溶于乙醇、yi 醚
11、汽化热(kg/mol):23.59(升华热) 12、熔化热(kg/mol):5.82
13、黏度(mpa·s,气体):0.01576 14、黏度(mpa·s,液体):0.277
15、折射率(气体):1.000783
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