高纯气体管路安装具有哪些优势?
1、 高压气体充装台、气体汇流排、气瓶集装阁、气体工位分配箱系列
2、 空温式、电加热、水浴式汽化器系列
3、 新一代往复式低温液体泵、二氧化碳充装泵、低温液体离心泵、二氧化碳灌注泵、大流量泵系列
4、 永l久气体防错装接头、槽车用快速接头、各式充瓶卡具系列
5、 高压不锈钢软管、不锈钢波纹管系列、真空多层绝热低温液体管道系列
6、 低温阀门、不锈钢球阀门、不锈钢截止阀、各种气体管路阀、止逆阀、安全阀、氧气瓶阀及其配件系列
7、 溶解成套设备及大中小型空分设备配件系列
8、 气体管路减压器、调压阀、压力表、氢、氧、高中压回火防止器
9、 气体钢瓶检测设备、气瓶真空干燥装置系列
10、气体调压输送装置、多元气体配气装置、气体试压装置
*主要用途是用作氟化l氢-氟化气高能化学激光器的氟源,在h2-o2 与f2之间反应能的有效部分(约25%)可以以激光辐射释放出,所 hf-of激光器是化学激光器中有希望的激光器。*是微电子工业中一种优良的等离子蚀刻气体,对硅和氮化硅蚀刻,采用*比四氟化碳和四氟化碳与氧气的混合气体有更高的蚀刻速率和选择性,而且对表面*,尤其是在厚度小于1.5um的集成电路材料的蚀刻中,*具有非常优异的蚀刻速率和选择性,在被蚀刻物表面不留任何残留物,同时也是非常良好的清洗剂。随着纳米技术的发展和电子工业大规模的发展技术,它的需求量将日益增加。
由于氢气的危险特性,在贮存和使用氢气过程中必须注意防火防爆。
一、贮存和使用氢气的场所必须有良好的通风,而且通风口应设置在屋顶的l高部位,屋顶内平面要平整,不要凹凸不平,以防氢气在凹处积聚。在接近屋顶的上部不能有火源和电源,氧气销售,在设置电源时应尽量考虑布置在下方。所安装的电气设备应满足场所防火防爆的要求。
二、输送氢气的设备和管路应有良好的接地,管路的法兰处应进行跨接。氢气在管道中输送时要严格控制流速,用气时,放气速度也不得过快,防止摩擦产生和积聚静电。
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