等离子化学气相沉积-化学气相沉积-拉奇纳米镀膜(查看)

帕利灵(parylene)是一族由对二合成的热塑性塑料聚合物的通称。它是在室温条件下气相沉积获得的薄膜物质,可以生成数百微米内任何厚度的薄膜。利用真空沉积技术可以将膜厚精度控制在1μm。此外,真空沉积的帕利灵具有均一性、保形性,等离子化学气相沉积,无微孔无缺陷,化学性质不活泼等优良特性。由于真空沉积不使用催化剂和溶剂,产出的薄膜很纯净,释气量很小。有3种成熟的帕利灵材料:c型、d型和n型,帕利灵c透水性和透气性比其他两种小很多,多功能化学气相沉积,应用广泛。帕利灵c在温度300k时太赫兹频段的折射率大约为1.62,化学气相沉积,4.5k时降低到约1.5141。吸收系数约为数10cm-1量级。帕利灵c的这些特性使之成为硅、锗材质的透镜和窗口的合适的*反镀膜材料。
电场对离化的蒸气分子的加速作用(离子能量约几百~几千电子伏)和离子对基片的溅射清洗作用,使膜层附着强度大大提高。离子镀工艺综合了蒸发(高沉积速率)与溅射(良好的膜层附着力)工艺的特点,并有很好的绕射性,可为形状复杂的工件镀膜。
真空镀膜加工技能是一种新颖的资料组成与加工的新技能,低压化学气相沉积,是外表工程技能范畴的主要组成部分。真空镀膜加工技能是使用物理、化学手法将固体外表涂复一层特殊功能的镀膜,然后使固体外表具有*损、耐高温、耐腐蚀、、防辐射、导电、导磁、绝缘和装修等许多优于固体资料本身的优胜功能,到达提高商品质量、延伸商品寿数、节约能源和取得明显技能经济效益的效果。
根据arrhenius外推法的数据,parylenec预计可以暴露在持续100℃的空气下10年(100,000小时)。在无氧的气体环境或者在真空状况下,parylene估计可以暴露在220℃的温度下持续雷同的时间。在所有的情况下,高温降低使用寿命。假如应用的环境要求接近或者超过了这个时间——温度——空气环境,建议用更接近现实使用环境的条件进行悉数的测试。
parylene可以经过韧化来进步击穿阻*,进步硬度及改动摩擦阻*。这是密度和结晶度进步的效果。
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