卓显智能高倍率工具显微镜ZEX-4030G晶圆测量检查
工具显微镜
工具显微镜是一种以光学(显微镜)瞄准和坐标(工作台)测量为基础的机械式光学仪器，可用于测量各种长度和角度，是电子、金属材料、矿物、地质、精密工程等检查、分析及研究的仪器。产品广泛应用于pcb、fpc、电子、金属材料、精密工程等
产品特点∶
◆无限远光学系统，校正各类色差
◆无限远平场消色差长距物镜
◆程控led冷光源（表面光及轮廓光），可实现编程批量检测时自行调节光源强弱
◆三轴均采用精密丝杆传动，无间隙，重复性比行业内常用光杆更高，寿命更长
◆3d optics实现图像2d测量，增加z轴数据标注与保存
◆采用全闭环控制，既保证定位精度，又能保证重复精度
技术参数：
型号
zex-4030
影像测量系统
光学系统
无限远平场色差校正系统
载物台行程（mm）
400*300*100
仪器重量（kg）
140
测量范围（mm）
x
300
y
200
z
100
光栅分辨率
0.0001μm
测量精度（μm）
x、y线性精度：（1.6+l/200）;x、y矢量精度：（2+l/200）;z轴对焦精度≤0.002mm（10x及以上物镜）
工作台
大理石台面
470*370
玻璃台面
338*238
承重
25kg
光学部分
ccd
日本sentehc彩色相机（可选配高清hdmi工业相机）
光学系统
无限远光学系统
目镜
n-wf10x/20
长距物镜
5x
10x
20x
50x
100x（选配）
其他
照明光源
12v 50w卤素灯同轴落射照明+led透射照明
工作电源
220v±10%（ac） 50hz （注：需有电阻≤4ω）
工作环境
温度：18~24℃、相对湿度：30~75%、远离振源
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140
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x
300
y
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z
100
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测量精度（μm）
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目镜
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工作电源
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工作环境
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