湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时,冷却水管壁上会结露,电子厂无尘车间,如果发生在精密装置或电路中,食品厂无尘车间,就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外,湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清除。设计净化系统组织的原则是相邻二级过滤器的效率不能太接近,10万级无尘车间,也不能相差太大。一般采用初效、中效、亚(或)三级过滤器。也可分四级,增加*过滤器。现在国内的相关企业很多,所以净化工程企业之间的竞争也很激烈,因为科技的发展使得市场对净化工程的要求高了起来,从以前的价格竞争变成了现在的价值竞争。所以相关的净化工程企业应该提高自身的自主研发能力,不断的发展*,才能适应这个竞争激烈的市场。
洁净空间的压力要高于非洁净空间的压力。洁净度级别高的空间的压力要高于相邻的洁净度级别低的空间的压力。相通洁净室之间的门要开向洁净度级别高的房间净化工程在设计时,无论是新建还是重新改造的净化车间,都一定依照国家相关标准、规范进行。在实际施工中,净化项目通常分为,分工和分时。 这种安排有利于各种和工作类型的管理。 但是,易于进行多尘和无尘的交叉操作,应尽可能避免这种结构布置。 如果不可避免,应该防止灰尘和有效清洁。
相对湿度越高,粘附的难去掉,但当相对湿度低于30%时,又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面,同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产温度范围为35—45%。1000级 一般只对尘埃浓度做要求,合肥无尘车间,用于光学器件,仪器等高精仪器等10000级,用于液压设备的生产,和一些食品饮料的生产。100000级,这个级别比较的低,对净化度要求不是很高,主要在印刷厂,包装厂等。洁净室中的温湿度控制。洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定,但在满足工艺要求的条件下,应考虑到 人的*度感。随着空气洁净度要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。
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