严格地讲,任何真空系统都有漏气现象存在,漏气是一定的。针对不同的真空系统,泰州氦检,可以容许有一定的漏率。目前的真空技术,可以确保超高真空系统的容许漏率≤1.33×10-11pa.m3/s。真空检漏已经成为真空系统制作和使用中不可缺少的环节。真空检漏的方法多种多样,比较具代表性的氦质谱检漏和四*质谱仪残留气体分析。
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