1.2集成电路行业vocs主要成分
集成电路行业有机废气voc的主要成分为和,废气处理设备厂家,此两项物质占比达vocs主要成分80%-100 %,其中占比55%以上,废气处理工艺,占比5%-34%。
2.集成电路行业vocs废气处理方法
集成电路行业废气主要成分vocs废气,目前对于vocs废气处理方法主要有活性炭吸附法、低温等离子法、燃烧法、uv光解法。
活性炭吸附塔是处理有机废气、臭味处理的净化设备。活性炭吸附是有效的去除水的臭味、天然和合成溶解有机物、微污染物质等的措施。大部分比较大的有机物分子、芳香族化合物、卤代炔等能牢固地吸附在活性炭表面上或空隙中,并对腐殖质、合成有机物和低分子量有机物有明显的去除效果.活性炭吸附作为深度净化工艺,经常用于废水的末级处理,也可用于长产用水、生活用水的纯化处理。
uv光解法因采用光解原理,模块采取隔爆处理,上海废气处理,消除了安全隐患,防火、防爆、防腐蚀性能高,设备性能安全稳定,特别适用于采油(气)田、石油化工、制药等防爆要求高的行业。
以上关于集成电路制造行业废气处理方法以及工艺介绍,工业废气处理,希望可以帮到您,其实对于集成电路制造行业废气处理,一般是需要根据废气的浓度、产生量、废气成分、如何收集等方面进行设计。
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