Inficon 气体监测泄露真空仪 Augent® OPG550 测量范围1 x 10-7 to 5 mbar
inficon augent™光学等离子体计opg550是真空监测的智能解决方案。
augent™opg550将两种传感器技术结合到一个紧凑的设备中，用于气体类型监测
1 × 10-7至5毫巴，同时测量从大气到1 × 10-7毫巴的总压力。augent™
opg550由集成的pirani传感器保护，可关闭20毫巴以上的等离子体。
在1 × 10-7和5毫巴之间的测量范围内，压力表允许检测气体成分。
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