LTHS2 2轴纳米位移平台
lths2
运动范围xy（µm）
75
分辨率xy（nm）
0,075
典型的噪声基准xy（nm）
0,0075
全方位的重复性xy（nm）
0,15
线性化（典型的）
0,02%
谐振频率x / y（hz）
1500/1000
刚度(n/µm)
2/2
最da负载（kg）-水平使用
0,5
最da负载（kg）-垂直使用
0,3
传感器
siliconhrsensor
尺寸wxlxh(mm)
152,5x190x18,5
材料
al
电缆长度（m）
2
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standardorhighspeed
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